Детектор поверхностного дефекта полупроводника материальный
Применения
Для управления управления производственным процессом и выхода пустой маски в полях дисплея полупроводника и
производство обломока интегральной схемаы, мы используем технологии высокого объема оптически испытывая для того чтобы сделать быстрый и
точное автоматическое обнаружение для поверхностных дефектов пустой маски. Согласно профессиональным потребностям пользователя,
мы начинали серию высокого объема МАСКИРУЕМ машины осмотра с надежным качеством и высокой ценой
коэффициент представления, помочь стеклянным изготовителям субстрата, маски и панели определить и проконтролировать маске
дефекты, уменьшают риск выхода и улучшить их независимую способность НИОКР для основных технологий.
Принцип деятельности
Относительно уровня и типа поверхностного дефекта, telecentric объектива 4x, специфического света кольца угла и коаксиального света
источник выбран как визуальный подход. Когда прибор бежит, образец двигает вдоль x
направление и модуль зрения уносят обнаружение дефекта вдоль направления y.
Особенности
| Модель | SDD0.5-0.5 | |
|
Обнаружение представления |
Обнаруженный тип дефекта | Царапины, пылятся |
| Обнаруженный размер дефекта | 1μm | |
|
Точность обнаружения (измеренный) |
обнаружение 100% дефектов/собрания дефекты (царапины, пыль) |
|
| Эффективность обнаружения |
минуты ≤10 (Измеренное значение: маска 350mm x 300mm) |
|
|
Представление оптической системы |
Разрешение | 1.8μm |
| Увеличение | 40x | |
| Визуальное поле | 0.5mm x 0.5mm | |
| Голубое светлое освещение | 460nm, 2.5w | |
|
Представление платформы движения
|
X, движение 2-оси y Мраморная плоскостность countertop: 2.5μm Точность runout Z-направления Y-osи: ≤ 10.5μm Точность runout Z-направления Y-osи: ≤8.5μm
|
|
| Примечание: Подгонянная продукция доступная. | ||
Изображения обнаружения
Наши преимущества
Мы изготовитель.
Зрелый процесс.
Ответ не позднее 24 рабочие часы.
Наша аттестация ISO
Части наших патентов
Части наших наград и квалификации НИОКР
Наши продукты продаются по всему миру, поэтому вы можете быть уверены в том, что производятся наши продукты в целом.
