Магнетрон O2его PVD N2 Ar оборудования для нанесения покрытия диэлектрических фильмов оптически брызгая низложение
Применения
| Применения | Особая цель | Материальный тип |
| Полупроводник | IC, электрод LSI, связывая проволокой фильм | AI, Al-Si, Al-Si-Cu, Cu, Au, Pt, Pd, Ag |
| Электрод памяти VLSI | Mo, w, ti | |
| Фильм границы диффузии | MoSix, Wsix, TaSix, TiSx, w, Mo, W-ti | |
| Склеивающая пленка | PZT (pb-ZrO2-ti), ti, w | |
| Дисплей | Прозрачный проводной фильм | ITO (In2O; - SnO2) |
| Фильм проводки электрода | Mo, w, Cr, животики, ti, Al, AlTi, AITa | |
| Электролюминесцентный фильм |
ZnS-Mn, ZnS-Tb, CaS-ЕС, y2o3, животики2o5, BaTiO3 |
|
| Магнитная запись | Вертикальный магнитный записывая фильм | CoCr |
| Фильм для жесткого диска | CoCrTa, CoCrPt, CoCrTaPt | |
| Головка для магнитной записи тонкого фильма | CoTaZr, CoCrZr | |
| Искусственный кристаллический фильм | Копт, CoPd | |
| Оптически запись | Фильм записи диска фазового перехода | TeSe, SbSe, TeGeSb, etc |
| Магнитный фильм звукозаписи на пластинку |
TbFeCo, DyFeCo, TbGdFeCo, TbDyFeCo |
|
| Фильм оптического диска отражательный | AI, AITi, AlCr, Au, сплав Au | |
| Фильм предохранения от оптического диска | Si3n4, SiO2+ZnS | |
| Батарея перовскита тонкопленочная | Прозрачный проводя слой | ZnO: Al |
| Медицинское лечение | Biocompatible материалы | Al2o3, TiO2 |
| Декоративное покрытие | Покрашенный фильм, металлизированный фильм | Al2o3, TiO2, ивсевидыфильмовметалла |
| покрытие Анти--обесцвечивания | Покрытие анти--оксидации драгоценного металла | Al2o3, TiO2 |
| Оптически фильмы | Высокий R.I. | SiO2, TiO2, животики2o5,₂ZrO, HfO2 |
| Другие применения | Светозащитный фильм | Cr, AlSi, AlTi, etc |
| Сопротивляющийся фильм | NiCrSi, CrSi, MoTa, etc | |
| Сверхпроводящий фильм | YbaCuO, BiSrCaCuo | |
| Магнитный фильм | Fe, Co, Ni, FeMn, FeNi, etc |
Особенности
| Модель | MSC700-750-700 |
| Покрывая тип | Различные диэлектрические фильмы как металлопленочное, металлическая окись и AIN |
| Покрывая диапазон температур | Нормальная температура к 500℃ (ориентированному на заказчика) |
| Покрывая размер камеры вакуума | 700mm*750mm*700mm (ориентированный на заказчика) |
| Вакуум предпосылки | <5>-7mbar |
| Покрывая толщина | ≥10nm |
| Точность управлением толщины | ≤±3% |
| Максимальный покрывая размер | ≥100mm (ориентированное на заказчика) |
| Единообразие толщины фильма | ≤±0.5% |
| Несущая субстрата | С планетарным механизмом вращения |
| Материал цели | дюймы 4x4 (совместимые с 4 дюймами и внизу) |
| Электропитание | Электропитания как DC, ИМП ульс, RF, ЕСЛИ и смещение опционное |
| Отростчатый газ | Ar, n2, O2ий |
| Примечание: Подгонянная продукция доступная. | |
Покрывая образец
Отростчатые шаги
→ устанавливает субстрат для покрывать в камеру вакуума;
→ грубо vacuumize;
→ поворачивает на молекулярный насос, vacuumize на максимальной скорости, тогда поворачивает на революцию и вращение;
→ нагревая камеру вакуума до тех пор пока температура не достигнет цель;
→ снабжает постоянн контроль температуры;
→ очищает элементы;
→ вращается и назад к началу;
Фильм → покрывая согласно отростчатым требованиям;
→ понижает температуру и останавливает собрание насоса после покрывать;
→ останавливает работать когда автоматическая деятельность закончена.
Принцип деятельности
Брызгать магнетрона вид физического низложения пара (PVD). Оно делает движение электронов в спирали
пути около поверхности цели взаимодействием между магнитным и электрическими полями, таким образом увеличивать
вероятность электронов ударяя газ аргона для генерации ионов. Произведенные ионы после этого ударили поверхность цели
под действием электрического поля и брызгать материалы цели к фильму deposite тонкому на поверхности субстрата.
Общий метод брызгать можно использовать для подготовки различных металлов, полупроводников, сегнетомагнитных
материалы, так же, как изолированные окиси, керамика и другие вещества. Оборудование использует касание PLC+
система управления панели HMI, которая может вписать параметры programmable отростчатым интерфейсом, с функциями
как одиночная цель брызгая, брызгать мульти-цели последовательные и со-брызгать.
Наши преимущества
Мы изготовитель.
Зрелый процесс.
Ответ не позднее 24 рабочие часы.
Наша аттестация ISO
Части наших патентов
Части наших наград и квалификации НИОКР
Наши продукты продаются по всему миру, поэтому вы можете быть уверены в том, что производятся наши продукты в целом.
