Атомно-слоевое осаждение в промышленности микроэлектромеханических систем
Приложения
| Приложения | Особая цель |
|
Микроэлектромеханические системы (МЭМС) |
Противоизносное покрытие |
| Антиадгезионное покрытие | |
| Смазочное покрытие |
Принцип работы
В каждом технологическом цикле будет наноситься один атомный слой.Процесс покрытия обычно происходит в реакции
камеры, и технологические газы вводятся последовательно.В качестве альтернативы субстрат можно перемещать между двумя
зоны, заполненные различными прекурсорами (пространственный ALD) для реализации процесса.Весь процесс, включая все реакции
и операции очистки будут повторяться снова и снова, пока не будет достигнута желаемая толщина пленки.Конкретный
начальное фазовое состояние определяется поверхностными свойствами подложки, затем толщина пленки будет возрастать
постоянно с увеличением количества реакционных циклов. До сих пор можно точно контролировать толщину пленки.
Функции
| Модель | АЛД-МЭМС-X—X |
| Система пленочного покрытия | АЛ2О3,TiO2,ZnO и т. д. |
| Диапазон температур покрытия | Нормальная температура до 500 ℃ (настраиваемый) |
| Размер вакуумной камеры покрытия |
Внутренний диаметр: 1200 мм, высота: 500 мм (настраиваемый) |
| Структура вакуумной камеры | В соответствии с требованиями заказчика |
| Фоновый вакуум | <5×10-7мбар |
| Толщина покрытия | ≥0,15 нм |
| Точность контроля толщины | ±0,1нм |
| Размер покрытия | 200×200 мм² / 400×400 мм² / 1200×1200 мм² и т. д. |
| Равномерность толщины пленки | ≤±0,5% |
| Прекурсор и газ-носитель |
Триметилалюминий, тетрахлорид титана, диэтилцинк, чистая вода, |
| Примечание: Доступно индивидуальное производство. | |
Образцы покрытия
Шаги процесса
→ Поместите подложку для покрытия в вакуумную камеру;
→ Вакуумировать вакуумную камеру при высокой и низкой температуре и синхронно вращать подложку;
→ Стартовое покрытие: подложка контактирует с прекурсором последовательно и без одновременной реакции;
→ Продувайте его газообразным азотом высокой чистоты после каждой реакции;
→ Прекратите вращение подложки после того, как толщина пленки станет стандартной, а операция продувки и охлаждения завершится.
завершите, затем извлеките подложку после того, как будут соблюдены условия отключения вакуума.
Наши преимущества
Мы производитель.
Зрелый процесс.
Ответ в течение 24 рабочих часов.
Наша сертификация ISO
Части наших патентов
Части наших наград и квалификаций в области НИОКР
Наши продукты продаются по всему миру, поэтому вы можете быть уверены в том, что производятся наши продукты в целом.
