Панель дисплея Детектор поверхностных дефектов
Приложения
Для контроля процесса и управления выходом производства панелей дисплея мы можем помочь производителям
выявлять и отслеживать дефекты маски, снижать риск выхода и улучшать их независимую способность НИОКР для
основные технологии.
Принцип работы
В качестве визуального подхода к
автоматически определять положение дефектов, чтобы автоматически обнаруживать дефекты на поверхности маски.
Функции
Модель |
SDD-DP-X—X | |
Определение производительности |
Тип обнаруживаемого дефекта | Царапины, пыль |
Размер обнаруживаемого дефекта | 1 мкм | |
Точность обнаружения (измеренная) |
100% выявление дефектов / сбор дефекты(царапины, пыль) |
|
Эффективность обнаружения |
≤10 минут (Измеренное значение: Маска 350 мм x 300 мм) |
|
Производительность оптической системы |
Разрешение | 1,8 мкм |
Увеличение | 40x | |
Поле зрения | 0,5 мм х 0,5 мм | |
Синяя подсветка | 460 нм, 2,5 Вт | |
Производительность подвижной платформы
|
X, Y двухосное движение Плоскостность мраморной столешницы: 2,5 мкм Точность биения по оси Y в направлении Z: ≤ 10,5 мкм Точность биения по оси Y в направлении Z: ≤8,5 мкм |
|
Примечание: Доступно индивидуальное производство. |
Изображения обнаружения
Наши преимущества
Мы производитель.
Зрелый процесс.
Ответ в течение 24 рабочих часов.
Наша сертификация ISO
Части наших патентов
Части наших наград и квалификаций в области НИОКР