Осаждение атомного слоя в поле разделительной мембраны
Приложения
| Приложения | Особая цель |
| Разделительная мембрана |
Фильтрация |
| Разделение газа |
Принцип работы
Атомно-слоевое осаждение (ALD) имеет следующие преимущества благодаря хемосорбции с насыщением поверхности и
механизм самоограничивающейся реакции:
1. Точно контролировать толщину пленки, контролируя количество циклов;
2. Благодаря механизму поверхностного насыщения нет необходимости контролировать равномерность подачи прекурсора;
3. Можно создавать высокооднородные пленки;
4. Отличное покрытие ступеней с высоким соотношением сторон.
Функции
| Модель | АЛД-СМ-Х—Х |
| Система пленочного покрытия | АЛ2О3,TiO2,ZnO и т. д. |
| Диапазон температур покрытия | Нормальная температура до 500 ℃ (настраиваемый) |
| Размер вакуумной камеры покрытия |
Внутренний диаметр: 1200 мм, высота: 500 мм (настраиваемый) |
| Структура вакуумной камеры | В соответствии с требованиями заказчика |
| Фоновый вакуум | <5×10-7мбар |
| Толщина покрытия | ≥0,15 нм |
| Точность контроля толщины | ±0,1нм |
| Размер покрытия | 200×200 мм² / 400×400 мм² / 1200×1200 мм² и т. д. |
| Равномерность толщины пленки | ≤±0,5% |
| Прекурсор и газ-носитель |
Триметилалюминий, тетрахлорид титана, диэтилцинк, чистая вода, азот и др. |
| Примечание: Доступно индивидуальное производство. | |
Образцы покрытия
Шаги процесса
→ Поместите подложку для покрытия в вакуумную камеру;
→ Вакуумировать вакуумную камеру при высокой и низкой температуре и синхронно вращать подложку;
→ Стартовое покрытие: подложка контактирует с прекурсором последовательно и без одновременной реакции;
→ Продувайте его газообразным азотом высокой чистоты после каждой реакции;
→ Прекратите вращение подложки после того, как толщина пленки станет стандартной, а операция продувки и охлаждения завершится.
завершите, затем извлеките подложку после того, как будут соблюдены условия отключения вакуума.
Наши преимущества
Мы производитель.
Зрелый процесс.
Ответ в течение 24 рабочих часов.
Наша сертификация ISO
Части наших патентов
Части наших наград и квалификаций в области НИОКР
Наши продукты продаются по всему миру, поэтому вы можете быть уверены в том, что производятся наши продукты в целом.
