Магнетронное напыление в полупроводниковой промышленности
Приложения
| Приложения | Особая цель | Тип материала |
| Полупроводник | Электрод IC, LSI, монтажная пленка | AI, Al-Si, Al-Si-Cu, Cu, Au, Pt, Pd, Ag |
| Электрод с памятью СБИС | Пн, Вт, Ти | |
| Диффузионная барьерная пленка | MoSix, Wsix, TaSix,, TiSx, Вт, Мо, W-Ti | |
| Клейкая пленка | PZT (Pb-ZrO2-Ti) , Ti, Вт |
Принцип работы
Принцип магнетронного распыления: под действием электрического поля электроны сталкиваются в процессе с атомами аргона.
лететь к подложке на большой скорости, ионизируя большое количество ионов аргона и электронов, а затем электроны летят к
подложка.Ионы аргона бомбардируют мишень с большой скоростью под действием электрического поля, распыляя массу мишени
атомы, затем нейтральные атомы (или молекулы) мишени оседают на подложке, образуя пленки.
Функции
| Модель | MSC-SEM-X—X |
| Тип покрытия | Различные диэлектрические пленки, такие как металлическая пленка, оксид металла и AIN |
| Диапазон температур покрытия | Нормальная температура до 500 ℃ |
| Размер вакуумной камеры покрытия | 700 мм * 750 мм * 700 мм (настраиваемый) |
| Фоновый вакуум | < 5×10-7мбар |
| Толщина покрытия | ≥ 10 нм |
| Точность контроля толщины | ≤ ±3% |
| Максимальный размер покрытия | ≥ 100 мм (настраиваемый) |
| Равномерность толщины пленки | ≤ ±0,5% |
| Носитель субстрата | С планетарным механизмом вращения |
| Целевой материал | 4×4 дюйма (совместимо с 4 дюймами и ниже) |
| Источник питания | Источники питания, такие как постоянный ток, импульс, ВЧ, ПЧ и смещение, являются дополнительными. |
| Технологический газ | Ар, Н2, О2 |
| Примечание: Доступно индивидуальное производство. | |
Образец покрытия
Шаги процесса
→ Поместите подложку для покрытия в вакуумную камеру;
→ Грубо пропылесосить;
→ Включите молекулярный насос, пропылесосьте на максимальной скорости, затем включите обороты и вращение;
→ Нагрев вакуумной камеры до достижения заданной температуры;
→ Внедрить постоянный контроль температуры;
→ Очистите элементы;
→ Вращение и обратно в исходное положение;
→ Покрытие пленкой в соответствии с технологическими требованиями;
→ Понизьте температуру и остановите узел насоса после нанесения покрытия;
→ Остановите работу, когда автоматическая операция будет завершена.
Наши преимущества
Мы производитель.
Зрелый процесс.
Ответ в течение 24 рабочих часов.
Наша сертификация ISO
Части наших патентов
Части наших наград и квалификаций НИОКР
Наши продукты продаются по всему миру, поэтому вы можете быть уверены в том, что производятся наши продукты в целом.
