Магнетрон брызгая низложение в поле покрытия Анти--обесцвечивания
Применения
| Применения | Особая цель | Материальный тип |
| покрытие Анти--обесцвечивания | Покрытие анти--оксидации драгоценного металла | Al2o3, TiO2 |
Принцип деятельности
Электроны непрерывно вступают в противоречия с атомами аргона в процессе движения, ионизируя большое количество ионов аргона к
бомбардируйте цель. После множественных столкновений, энергия электронов постепенно уменьшает. Электроны выходят из боевого порядка
от ограничения магнитной силовой линии, держите далеко от цели, и в конце концов депозита на субстрате.
Особенности
| Модель | MSC-ADC-X-X |
| Покрывая тип | Различные диэлектрические фильмы как металлопленочное, металлическая окись и AIN |
| Покрывая диапазон температур | Нормальная температура к 500℃ |
| Покрывая размер камеры вакуума | 700mm*750mm*700mm (ориентированный на заказчика) |
| Вакуум предпосылки | < 5="">-7mbar |
| Покрывая толщина | ≥ 10nm |
| Точность управлением толщины | ≤ ±3% |
| Максимальный покрывая размер | ≥ 100mm (ориентированное на заказчика) |
| Единообразие толщины фильма | ≤ ±0.5% |
| Несущая субстрата | С планетарным механизмом вращения |
| Материал цели | дюймы 4×4 (совместимые с 4 дюймами и внизу) |
| Электропитание | Электропитания как DC, ИМП ульс, RF, ЕСЛИ и смещение опционное |
| Отростчатый газ | Ar, n2, O2ий |
| Примечание: Подгонянная продукция доступная. | |
Покрывая образец
Отростчатые шаги
→ устанавливает субстрат для покрывать в камеру вакуума;
→ грубо vacuumize;
→ поворачивает на молекулярный насос, vacuumize на максимальной скорости, тогда поворачивает на революцию и вращение;
→ нагревая камеру вакуума до тех пор пока температура не достигнет цель;
→ снабжает постоянн контроль температуры;
→ очищает элементы;
→ вращается и назад к началу;
Фильм → покрывая согласно отростчатым требованиям;
→ понижает температуру и останавливает собрание насоса после покрывать;
→ останавливает работать когда автоматическая деятельность закончена.
Наши преимущества
Мы изготовитель.
Зрелый процесс.
Ответ не позднее 24 рабочие часы.
Наша аттестация ISO
Части наших патентов
Части наших наград и квалификации НИОКР
Наши продукты продаются по всему миру, поэтому вы можете быть уверены в том, что производятся наши продукты в целом.
