Магнетронное напыление в производстве тонкопленочных аккумуляторов из перовскита
Приложения
| Приложения | Особая цель | Тип материала |
| Перовскитовая тонкопленочная батарея | Прозрачный проводящий слой | ZnO: алюминий |
Принцип работы
Магнетронное распыление предназначено для ограничения и расширения путей движения электрона магнитным полем, изменения движения
направления электронов, увеличивают скорость ионизации рабочего газа и эффективно используют энергию электронов.
Магнетронное распыление имеет следующие характеристики: высокая скорость осаждения, высокая эффективность осаждения, подходит для
масштабное применение в промышленном производстве;низкая температура подложки, подходит для покрытия пластиков и
другие жаропрочные подложки;высокая чистота приготовленных пленок, хорошая плотность, лучшая однородность пленки и прочность
сцепление пленки с подложкой;можно изготовить металлические, сплавные, оксидные и другие пленки;без загрязнения.
Функции
| Модель | MSC-PFB-X—X |
| Тип покрытия | Различные диэлектрические пленки, такие как металлическая пленка, оксид металла и AIN |
| Диапазон температур покрытия | Нормальная температура до 500 ℃ |
| Размер вакуумной камеры покрытия | 700 мм * 750 мм * 700 мм (настраиваемый) |
| Фоновый вакуум | < 5×10-7мбар |
| Толщина покрытия | ≥ 10 нм |
| Точность контроля толщины |
≤ ±3% |
| Максимальный размер покрытия | ≥ 100 мм (настраиваемый) |
| Равномерность толщины пленки | ≤ ±0,5% |
| Носитель субстрата | С планетарным механизмом вращения |
| Целевой материал | 4×4 дюйма (совместимо с 4 дюймами и ниже) |
| Источник питания | Источники питания, такие как постоянный ток, импульс, ВЧ, ПЧ и смещение, являются дополнительными. |
| Технологический газ |
Ар, Н2, О2 |
| Примечание: Доступно индивидуальное производство. | |
Образец покрытия
Шаги процесса
→ Поместите подложку для покрытия в вакуумную камеру;
→ Грубо пропылесосить;
→ Включите молекулярный насос, пропылесосьте на максимальной скорости, затем включите обороты и вращение;
→ Нагрев вакуумной камеры до достижения заданной температуры;
→ Внедрить постоянный контроль температуры;
→ Очистите элементы;
→ Вращение и обратно в исходное положение;
→ Покрытие пленкой в соответствии с технологическими требованиями;
→ Понизьте температуру и остановите узел насоса после нанесения покрытия;
→ Остановите работу, когда автоматическая операция будет завершена.
Наши преимущества
Мы производитель.
Зрелый процесс.
Ответ в течение 24 рабочих часов.
Наша сертификация ISO
Части наших патентов
Части наших наград и квалификаций НИОКР
Наши продукты продаются по всему миру, поэтому вы можете быть уверены в том, что производятся наши продукты в целом.
