Магнетронное напыление в поле функциональной пленки
Приложения
| Приложения | Особая цель | Тип материала |
| Функциональная пленка | сверхжесткий фильм | TiN, TiC |
|
Светонепроницаемая пленка |
Кр, АлСи, АлТи, етк | |
| Резистивная пленка | NiCrSi, CrSi, МоТа и т.д. | |
| Сверхпроводящая пленка | YbaCuO, BiSrCaCuo | |
| Магнитная пленка | Fe, Co, Ni, FeMn, FeNi и т.д. |
Принцип работы
Существует множество видов магнетронного напыления с различными принципами работы и объектами применения.Но там
есть одна общая черта: она заставляет электроны двигаться по спирали вблизи поверхности мишени за счет взаимодействия между
магнитные и электрические поля, тем самым увеличивая вероятность образования ионов от электронов, сталкивающихся с аргоном.
Генерируемые ионы затем попадают на поверхность мишени под действием электрического поля и распыляют материалы мишени.
Функции
| Модель | MSC-FF-X—X |
| Тип покрытия | Различные диэлектрические пленки, такие как металлическая пленка, оксид металла и AIN |
| Диапазон температур покрытия | Нормальная температура до 500 ℃ |
| Размер вакуумной камеры покрытия | 700 мм * 750 мм * 700 мм (настраиваемый) |
| Фоновый вакуум | < 5×10-7мбар |
| Толщина покрытия | ≥ 10 нм |
| Точность контроля толщины | ≤ ±3% |
| Максимальный размер покрытия | ≥ 100 мм (настраиваемый) |
| Равномерность толщины пленки | ≤ ±0,5% |
| Носитель субстрата | С планетарным механизмом вращения |
| Целевой материал | 4×4 дюйма (совместимо с 4 дюймами и ниже) |
| Источник питания | Источники питания, такие как постоянный ток, импульс, ВЧ, ПЧ и смещение, являются дополнительными. |
| Технологический газ | Ар, Н2, О2 |
| Примечание: Доступно индивидуальное производство. | |
Образец покрытия
Шаги процесса
→ Поместите подложку для покрытия в вакуумную камеру;
→ Грубо пропылесосить;
→ Включите молекулярный насос, пропылесосьтена максимальной скорости, затем включить оборот и вращение;
→ Нагревать вакуумную камеру до тех пор, пока температура не достигнетцель;
→ Внедрить постоянный контроль температуры;
→ Очистите элементы;
→ Вращение и обратно в исходное положение;
→ Покрытие пленкой в соответствии с технологическими требованиями;
→ Понизьте температуру и остановите узел насоса после нанесения покрытия;
→ Остановить работу, когдаавтоматическая операция завершена.
Наши преимущества
Мы производитель.
Зрелый процесс.
Ответ в течение 24 рабочих часов.
Наша сертификация ISO
Части наших патентов
Части наших наград и квалификаций НИОКР
Наши продукты продаются по всему миру, поэтому вы можете быть уверены в том, что производятся наши продукты в целом.
